【표지】

2026년 반도체 소부장기업 실증(장비사용료) 지원사업 신청서식

<제출서류 및 동의서 목록확인표>

구분	목 록	비고	확인 여부(√)
지정 양식 작성 후 제출	【표지】 제출서류 목록확인표 1부	필수
	【서식 제1호】 반도체 소부장기업 실증(장비사용료) 지원사업 신청서 1부	필수
	【서식 제2호】 반도체 소부장기업 실증(장비사용료) 지원사업 사업계획서 1부	필수
	【서식 제3호】 신청기업 개인정보 수집, 이용, 제공 동의서 1부	필수
	【서식 제4호】 반도체 소부장기업 실증(장비사용료) 지원사업 청렴서약서 1부	필수
필수 제출서류	【첨부】 중소 또는 중견기업 확인서 1부	필수
	【첨부】 소재·부품·장비 전문기업확인서 1부	필수
	【첨부】 사업자등록증(또는 증명원) 및 (법인) 법인등기부등본 1부 또는 공장등록증 1부 또는 기업부설연구소 또는 연구개발전담부서 인정서 1부	필수
	【첨부】 국세 완납 증명서 1부	필수
	【첨부】 지방세 완납 증명서 1부	필수
동의서	향후 진흥원에서 추진하는 성과공유회 및 기술세미나 참여 동의	필수

*신청서식(표지 및 서식 제1~7호)은 하나의 파일(파일명: 신청서, 형식: pdf)로 제출하며, 그 외 제출서류는 각각 업로드해야 함(제출처: 화성시 기업지원플랫폼)

붙임의 기재사항은 사실과 다름없음을 확인합니다.

2026년    월     일

기 업 명:	대 표 자: (인)
	사업 담당자: (인)

【서식 제1호】 반도체 소부장기업 실증(장비사용료) 지원사업 신청서

반도체 소부장기업 실증(장비사용료) 지원사업 신청서

1. 기본정보(필수) ※ A4 1장 넘어가지 않도록 내용 정리하여 기재하며, 파랑글씨는 제출 시 삭제

기업명											사업자등록번호
기업형태		개인				법인			기타		설립일				. . .
업태/종목	/										주생산품
주소
매출액 (3개년)	(2025년) 백만원(예상)										상시 근로자수 (3개년)				(2025년) 명
	(2024년) 백만원														(2024년) 명
	(2023년) 백만원														(2023년) 명
대표자	성 명				부서명/직위						E-mail								휴대전화
과제 책임자	성 명				부서명/직위						E-mail								휴대전화
2. 기업분류 및 기술분야(필수)
주력 분야			소재									부품						장비
제품/기술 분야	디자인/제조
		디자인/EDA							전자제품제조사(EMS)/System Integration											팹리스
		엔지니어링 서비스							공장제어/프로세스 소프트웨어											디바이스 제조자 (Foundry)
		제조 전문 컨설팅 및 서비스							패키징 및 테스트 서비스(OSAT)											R&D/기술이전
		기타( )
	장비 제조
		전공정							Abatement/환경 시스템											어셈블리/패키징
		공정자동화/로보틱스							Components/Sub-systems/Instrumentation											테스트
		Large-area/Thin Film							인쇄/코팅/롤투롤(Roll-to-Roll)											Parts
		검사 및 측정/계측							중고장비 및 서비스											기타( )
	소재
		클리닝							잉크/페이스트 및 인쇄 소재											소모성 소재
		패키징/어셈블리							가스/액체/고체/케미컬
		웨이퍼/Substrates							기타( )
	기타
		대리점							일반적인 사업 컨설팅/서비스											표준
		지원 제품/클린룸							기타( )
공정 단계		FEOL(소자 형성)							MOL(연결 공정)					Si BEOL(금속배선, 절연막)
		패키징(Back End)							MEMS					기타			( )

3. 과제정보(필수) ※ A4 1장 넘어가지 않도록 내용 정리하여 기재하며, 파랑글씨는 제출 시 삭제
과제명 (사업아이템명)
지원금 신청액	00,000천원 ※정산 시, 지원구간 내 변경만 가능함	총 사용 예정액	00,000천원
성능평가 또는 검증 목표
활용(예정) 공정 단계		FEOL(소자 형성)		MOL(연결 공정)		Si BEOL(금속배선, 절연막)
	패키징(Back End)		MEMS		기타	( )
※본 사업은 한국나노기술원 장비 활용 기반 지원사업으로 선택한 공정 단계와 활용 예정 장비 간 연계성이 평가에 반영되오니 정확히 선택해 주시기 바랍니다. (2. 기업분류 및 기술분야의 공정 단계와 상이해도 됩니다.)
한국나노기술원 활용(예정) 장비 ※붙임 2 참고		나노리소		나노 R&D		산업화		MEMS		Back End
	특성평가		Si BEOL		Epi.		양자		Fab
장비사용료 산출내역 (단위: 원)	장비명	산출내역	사용료
합계	0
적용 분야
당 사는 상기 사업에 대해 정부, 지자체 등의 지원을 받은 사실이 없으며, 기재된 내용 및 첨부 서류가 사실과 다를 경우 신청의 무효, 지원 취소 등의 조치에 대해 이의가 없음을 확인하며 위와 같이 사업 신청서를 제출합니다. 2026년 월 일
	기 업 명 :		대 표 자 :		(날인)
(재)화성산업진흥원장 귀하
※유의사항: 신청서에 반드시 직인 날인하여 주시기 바랍니다. ※기타문의: 화성산업진흥원 공급망지원팀(☎ 031-278-4388)

【서식 제2호】 반도체 소부장기업 실증(장비사용료) 지원사업 사업계획서

반도체 소부장기업 실증(장비사용료) 지원사업 사업계획서

1. 과제 및 장비사용 개요 ※ 파랑글씨는 제출 시 삭제

※ 추진 과제가 어떤 것인지 알 수 있도록 개념 및 핵심사항을 중점적으로 기술

※ 성능평가, 검증 등 실증 내용을 중점적으로 작성(한국나노기술원 장비 또는 팹 활용 계획 기재 필수)

○

□

-

2. 시장 현황

※ 실증 대상 제품 또는 공정 적용 분야, 활용 목적, 실증 필요성 등

○

□

-

3. 과제 목표

※ 한국나노기술원 장비 또는 팹을 활용하여 달성하고자 하는 실증 목표 기재

※ 과제 결과물을 객관적으로 평가할 수 있는 정량적 목표(수치) 및 정성적 목표를 검증방법 등을 포함하여 기재

※ 과제 목표는 과제기간을 고려하여 달성 가능한 수준으로 정확하게 작성

○

□

-

4. 사업화 추진 전략

※ 실증 결과의 활용 방안(성능 검증, 공정 개선 등) 중심으로 작성

○

□

-

5. 추진 일정

추진내용(장비명)		세부 추진일정
		4월	5월	6월	7월	8월	9월	10월
나노리소	Automated Mask AlignerⅡ	◎	◎
	CD-SEMⅡ		◎	◎
나노 R&D	HDP-CVD				◎	◎
산업화	PECVDⅡ					◎	◎	◎

6. 기대효과

※ 실증을 통해 기대되는 기술적 효과 작성

○

□

-

7. 향후 계획

※ 사업기간 종료 이후 후속 실증, 시제품 개선 등 연계 계획

○

□

-

【서식 제3호】 신청기업 개인정보 수집, 이용, 제공 동의서

개인(기업)정보 수집‧이용‧제공 동의서

(재)화성산업진흥원에서 추진하는 지원사업과 기업 거래활성화 지원을 위하여 아래와 같이 개인정보 및 기업정보를 수집‧이용 및 제3자에게 제공하고자 합니다. 내용을 자세히 읽으신 후 동의 여부를 결정하여 주십시오.

1. 개인정보 및 기업정보의 수집ㆍ이용 내역

수집‧이용 항목		수집‧이용 목적	보유기간
개인정보	성명, 부서/직위, 연락처, 이메일 등	신청(지원)사업 운영 및 관리, 홍보, 민원처리, 통계분석 등	5년
기업정보	기업명, 사업자등록번호, 주소, 연락처 등

※ 위의 개인정보 및 기업정보 수집‧이용에 대한 동의를 거부할 권리가 있습니다. 그러나 동의를 거부할 경우 신청(지원)사업의 원활한 사업 추진을 할 수 없어 제한을 받을 수 있습니다.

→ 위와 같이 개인정보 및 기업정보를 수집‧이용하는데 동의하십니까?   (  □ 동의함     □ 동의안함 )

2. 고유식별정보 수집‧이용 내역

수집‧이용 항목		수집‧이용 목적	보유기간
개인정보	성명	신청(지원)사업의 운영 및 관리 등	5년
기업정보	기업명, 사업자등록번호, 법인등록번호

※ 위의 개인정보 및 기업정보 수집‧이용에 대한 동의를 거부할 권리가 있습니다. 그러나 동의를 거부할 경우 신청(지원)사업의 원활한 사업 추진을 할 수 없어 제한을 받을 수 있습니다.

→ 위와 같이 고유식별정보를 수집‧이용하는데 동의하십니까?           (  □ 동의함     □ 동의안함 )

3. 선택적 개인정보 및 기업정보의 수집‧이용 내역 (동의 거부 가능)

수집‧이용 항목		수집‧이용 목적	보유기간
개인정보	대표자 성명/연락처/이메일 담당자 성명/연락처/이메일/직함	기업 거래활성화 지원 운영 및 관리, 홍보, 민원처리, 통계분석 등 ※ 해당 항목은 기업지원 플랫폼을 통해 공개 됩니다.	5년
기업정보	기업명, 사업자등록번호, 업종, 전화번호 소재지(본사, 공장), 근로자수, 설립일, 매출액 및 주요 생산품 정보 등

※ 위의 개인정보 및 기업정보 수집‧이용에 거부하셔도 지원사업 신청은 가능합니다. 그러나 동의를 거부할 경우 기업 거래 활성화 지원에 제한 받을 수 있습니다.

→ 위와 같이 개인정보 및 기업정보를 수집‧이용하는 데 동의하십니까?    (  □ 동의함     □ 동의안함 )

4. 개인정보 및 기업정보 제3자 제공 내역 (동의 거부 가능)

제공받는 기관	제공목적	제공항목	보유기간
화성산업진흥원, 화성시 등 관련 유관기관	사업 지원 활성화 방안	선택적 개인정보 및 기업정보 항목	5년

※ 위의 개인정보 및 기업정보 수집‧이용에 거부하셔도 지원사업 신청은 가능합니다. 그러나 동의를 거부할 경우 기업 거래활성화 지원에 제한을 받을 수 있습니다.

→ 위와 같이 개인정보 및 기업정보를 제3자에게 제공하는데 동의하십니까? (  □ 동의함     □ 동의안함 )

(재)화성산업진흥원장 귀하

2026년    월    일

기 업 명:
대 표 자:		(서명 또는 인)
담 당 자:		(서명 또는 인)

【서식 제4호】 반도체 소부장기업 실증(장비사용료) 지원사업 청렴서약서

2026년 반도체 소부장기업 실증(장비사용료) 지원사업과 관련하여 신청인(이하 “본인”)은 다음 사항을 준수할 것을 약속합니다.

① 본인은 신청 및 평가와 관련하여 부당하거나 불법적인 중개인을 이용하지 않으며, 서비스 제공기업 또는 제3자 등을통해 사업을 대리 신청하지 않을 것을 약속합니다.

② 본인은 어떠한 명목으로도 화성시 또는 (재)화성산업진흥원에 대해 청탁·알선·금품·향응의 요구 및 제공 등 부정한 행위를 하지 않을 것을 약속합니다.

③ 본인은 본 사업을 수행함에 있어 투명한 사업비 집행과 사업비 부정 사용 방지를 위해 노력할 것을 약속합니다.

④ 본인은 본 사업의 목표를 달성하기 위해 최선을 다하고, 관련 법령 및 규정을 준수하여 사업에 참여할 것을 약속합니다.

위 준수사항을 위반한 경우에는 향후 사업선정 취소 등의 어떠한 불이익 처분이 있더라도 이의를 제기하지 않을 것을 약속합니다.

2026년     월     일

기 업 명 :                  대표자  :                (인)

담당자  :                (인)

(재)화성산업진흥원장 귀하