평택시 □2026년 반도체 첨단소자 공정개발 지원사업□ 참여기업 모집 공고

평택시에서 시행하고 한국나노기술원에서 공공위탁을 받아 수행하는 □2026년 반도체 첨단소자 지원사업□을 다음과 같이 공고하오니 많은 참여 바랍니다.

2026년 2월 27일

평택시장

한국나노기술원장

1. 사업개요

□ 사업목적

◦ 자체적인 공정 연구 장비·인력 부족으로 기술개발 및 실증화에 애로를 겪고 있는 관내(평택시) 반도체·첨단소자 기업을 발굴하여 한국나노기술원의 테스트베드를 활용한 기술 지원

□ 사업기간 : 2025. 4월 ~ 12월(9개월)

□ 지원대상 : 공고일 현재 평택시에 공장등록된 기업으로 반도체·첨단소자 개발 활용 중소·중견 기업

※『산업집적법』시행규칙[별표5]에 해당하는 첨단업종 코드(20119~31322) 등록 기업

□ 지원규모

분야	지원내용	지원개사	지원비용	비고
소자·공정 실증화 (유형1)	기업 보유기술의 성능 향상에 필요한 반도체·나노 공정 개발 지원 (TRL 4단계 이상)	2개사	기업당 50백만원 이내	시 지원비용의 40% 기업부담 (현금 20% 이상)
정밀 특성평가 및 신뢰성 분석 (유형2)	개발 제품에 대한 테스트 지원 (측정·분석, 신뢰성 평가, 시험성적서 등)	2개사	기업당 2백만원 이내	시 지원비용의 20% 기업부담 (전액 현금)

※ 유형2는 신청기업체 수·지원비용 등에 따라 선발기업 변동이 가능하며, 부가가치세는 사업비로 집행 불가(지원금 및 기업부담금 외 기업자금으로 사용)

2. 신청자격 및 제외

□ 기본 자격 기준

◦ 공고일 기준 평택시 소재 공장 등록된 기업 중 『산업집적법』 시행규칙 [별표5]에 해당하는 첨단업종 코드(20119~31322) 등록 기업

※ 사업 완료 이전에 평택시 관외로 이전 할 경우 지원금 전액 환수 조치

◦ 『중소기업기본법』 제2조의 규정에 의한 중소기업 및 『중견기업 성장촉진 및 경쟁력 강화에 관한 특별법』 제2조에 의한 중견기업

□ 지원 제외 대상

◦ 휴·폐업중인 기업

◦ 부도기업 및 법정관리, 화의기업(단, 법원의 화의 및 회사정리인가 결정을 받은 후 법원에 제출한 화의 계획안 또는 정리계획안의 채무변제 계획을 정상적으로 이행하고 있는 업체는 예외로 함)

◦ 신청 내용이 과제 목적 및 공고 내용 등에 적합하지 않은 경우

◦ 기업부담금 확보 등의 약속사항을 불이행한 경우

◦ 접수 마감일 기준 참여기관, 대표 및 과제 책임자가 국가연구개발 사업에 참여제한 중인 경우

◦ 신청서 및 사업계획서 등 관련서류를 허위로 제출한 경우

3. 사업내용 및 추진절차

□ 사업내용

◦ 소자·공정 실증화(유형1): 반도체·디스플레이·이차전지·센서 등 미세 규모의 공정 기술 개발·상용화 및 시제품 제작 지원

- 적용예시

·반도체 패키지 미세 설계 기술을 활용한 FBGA 개발용 BUMP 패턴 개발

·반도체 공정을 이용한 가스센서 개발

·초미세 적층형 RGB-type Micro-LED 소자 개발

·재난환경 등에서의 인명탐지를 위한 다중 멀티 복합센서 모듈 연동 개발

※ (유형2) 정밀특성평가 및 신뢰성 분석와 중복 신청·지원 불가

◦ 정밀특성평가 및 신뢰성 분석(유형2): 반도체·디스플레이·이차전지·센서 등 미세 규모의 개발 제품에 대한 테스트(측정·분석, 신뢰성 평가, 인증서. 평가서 등) 지원(연구시설 장비이용료, 신뢰성 인증 및 시험분석비 등)

- 적용예시

·Si, III-V, Glass, Flexible 등 다양한 종류의 기판에 대한 공정/분석

·KOLAS(시험분석), 한국나노기술원 장비 사용료 등

※ (유형1) 소자·공정 실증화와 중복 신청·지원 불가

□ 추진절차

①사업공고		②선정평가		③협약체결		④사업수행		⑤결과평가
참여기업 모집		평가위원회 (전문가평가)		참여기업↔ 나노기술원		과제수행		수행결과 및 정산보고서 제출 (전문가평가)
’26. 2.~3.		’26. 3.		’26. 4.		’26. 4.~11.		’26. 12.

※ 평가, 선정, 협약일정 등은 상황에 따라 일부 조정·변경 될 수 있음.

4. 신청기간 및 신청방법

□ 신청기간 : 2026년 2월 27일(금) ~ 3월 25일(수) 18:00까지

□ 신청서류 : 사업계획서 등 구비서류 [붙임] 참조

□ 신청방법 : 신청서류 E-mail(jinbae.kim@kanc.re.kr) 제출

□ 사업내용 및 제출서류 등 문의

주관기관	전 화	E-mail
한국나노기술원 대외협력처	031-546-6526 031-546-6520	jinbae.kim@kanc.re.kr donggoo.ahn@kanc.re.kr

※ 통화량이 많아 전화연결이 어려울 수 있으니, 가급적 E-mail로 문의하여 주시기 바랍니다.

5. 선정방법

□ 평가방법

◦ 소자·공정 실증화(유형1): 관련분야 전문가로 구성된 평가위원회의 신청서류 서면 또는 발표 평가 시행

◦ 정밀특성평가 및 신뢰성 분석(유형2): 신청기업의 지원신청서 접수, 신청자격 검토 및 신청서류 서면평가

□ 평가기준 및 평가항목

◦ 소자·공정 실증화(유형1): 추진계획 및 적정성, 기술성, 시장성 및 사업성 등을 종합적으로 검토

구분	평가지표	배점
추진계획 및 적정성 (20)	∘ 추진계획의 적정성 및 목표 등의 구체성	10
	∘ 참여 인력의 전문성 및 사업계획의 명확성	10
기술성 (30)	∘ 기술의 우수성 및 실현 가능성	10
	∘ 개발 기술의 독창성 및 차별성	10
	∘ 기술 보유 현황 (인증, 특허 등) 및 획득 가능성	10
시장성 및 창출효과 (30)	∘ 개발된 기술의 사업화 계획	10
	∘ 기술 개발을 통한 매출 및 고용효과	10
	∘ 수요고객 연계 및 투자가능성	10
테스트베드 활용계획 (20)	∘ 한국나노기술원과의 연계성	20
합 계		100

- 평가위원회에서 평가점수의 최고점수와 최저점수를 제외한 산술 평균 60점 이상 득한 기업 중 고득점순 선정(60점 미만 시 탈락)

◦ 정밀특성평가 및 신뢰성 분석(유형2): 특성평가 및 신뢰성 분석 등의 필요성, 시급성 등을 종합적으로 검토하여 예산의 범위 내에서 선정

6. 기타사항

◦ 소자·공정 실증화(유형1) 선정기업은 시 지원금의 100%에 대해 협약 전 이행(지급) 보증보험증권에 가입 및 서류를 제출해야 하며, 지원금은 선정기업의 지원금 전용통장으로 先 지급됨(단, 가입이 불가능한 경우 지원 대상에서 제외)

※ 발급 수수료는 참여기업이 별도 부담해야 함(사업비로 불인정)

◦ 평가 결과는 개별통보(이메일) 되며 결과에 대한 이의신청은 할 수 없음

	주의사항
위법·부당한 방법을 통하여 지원받은 사실이 확인된 기업에 대해서는 다음과 같이 제재됨 ① 위법·부당한 방법으로 지원받은 지원액 전액 환수 및 향후 지원배제 ② 형사고발(문서의 위·변조, 사기, 업무방해 등 위법·부당행위 수반 시) ③ 경기도 등 유관기관 통보(해당 기관의 지원에서도 배제될 수 있음)

7. 첨부서류

◦ 소자공정 실증화(유형1) 지원 양식

◦ 특성평가 등(유형2) 지원 양식

참조1		첨단업종 분류표

■ 산업집적활성화 및 공장설립에 관한 법률 시행규칙 [별표 5] <개정 2022. 1. 21.> 첨단업종(제15조 관련)
분류번호	업종명	적용 범위
20119	석탄화학계 화합물 및 기타 기초 유기 화학 물질 제조업	ㅇ 나노(100nm이하) 유기화합물
20132	염료, 조제 무기안료, 유연제 및 기타 착색제 제조업	ㅇ 친환경 및 고기능성 특수도료 - 대전방지 도료, 자기치유도료 - 자외선(UV) 경화도료(4mm이하, 80시간 이상, 3.0Mpa이상의 부착성) - 방열성 분체도료 ㅇ 고기능성 및 신기능 염료 - 고 염착률의 반응성 염료 ㅇ 고기능성 안료 - 전자재료용 안료(편광도 98% 이상, 내광성 30,000hr 이상) - 형광 안료(내광성 3급 이상, 내열성 180℃ 이상)
20202	합성수지 및 기타 플라스틱 물질 제조업	ㅇ 고분자 신소재(특수 기능성, 전기특성, 의료용) - 슈퍼고분자 복합(composite) 소재
20421	계면활성제 제조업	ㅇ 계면활성제 중 다음의 것만 해당한다. - 고분자형 계면활성제 - 양이온 계면활성제 - 친환경 계면활성제(바이오유래, 유용미생물활용, 인체친화적, 생분해성)
20493	접착제 및 젤라틴 제조업	ㅇ 전기ㆍ전자용 기능성 접착제로서 다음의 것만 해당한다. - 전도성 접착제 - 광섬유용 접착제 - 반도체ㆍ디스플레이용 접착제 - 고내열 금속용 접착제 ㅇ 의료용 접착제로서 다음의 것만 해당한다. - 연조직(피부 등)용 접착제 - 경조직(치아ㆍ뼈 등)용 접착제
20495	바이오 연료 및 혼합물 제조업	ㅇ 해양 바이오디젤(식물성 또는 동물성 기름을 사용하여 제조한 연료) 및 혼합유
20499	그 외 기타 분류 안된 화학제품 제조업	ㅇ 반도체 및 디스플레이 소재로서 다음의 것만 해당한다. - 포토레지스트 노볼락(Photoresist Novolak) 수지, 매트릭스(Matrix) 수지 - 반도체 및 디스플레이용 리소그래피(lithography)용 수지 - 반도체ㆍ디스플레이ㆍ발광다이오드(LED)용 무기 전구체
20501	합성섬유 제조업	ㅇ 아라미드(aramid)섬유, PBO 섬유 ㅇ 메디컬 섬유소재(조직재생용 섬유소재, 유착방지 및 차폐용 섬유소재, 정형외과용 섬유소재)
21102	생물학적 제제 제조업	ㅇ 바이오의약품으로서 다음의 것만 해당한다. - 치료용 항체 및 사이토카인제제 - 호르몬제 - 혈액제제 - 신개념백신(항암백신, DNA백신, RNA백신 등) - 세포기반치료제 - 유전자 의약품
21210	완제 의약품 제조업	ㅇ 저분자 화합물 의약품으로서 다음의 것만 해당한다. - 종양계 치료제(항암제) - 순환기계 질환(고혈압, 고지혈증, 혈전) 치료제 - 감염계 질환 치료제(항생제, 항바이러스제, 항진균제) - 신경계 질환(치매, 뇌졸중, 간질, 우울증, 정신분열증, 파킨슨병) 치료제 - 내분비계 질환(골다공증, 당뇨, 비만) 치료제 - 면역계 질환(면역기능 조절, 천식, 알레르기, 염증ㆍ관절염) 치료제 - 호르몬제
21300	의료용품 및 기타 의약 관련제품 제조업	ㅇ 바이오칩(바이오센서 포함) ㅇ 약물전달시스템 응용제품
22292	플라스틱 적층, 도포 및 기타 표면처리 제품 제조업	ㅇ 투명전도성 필름 ㅇ 플라스틱 적층(다층)필름
23121	1차 유리제품, 유리섬유 및 광학용 유리 제조업	ㅇ 나노세공 다공질유리
23122	디스플레이 장치용 유리 제조업	ㅇ 차세대 평판디스플레이용 유리(플렉시블 유리만 해당한다)
23211	정형내화요업제품 제조업	ㅇ SiC 내화물(반도체공정용 부재) ㅇ 초고온용 지르콘내화물
23222	위생용 및 산업용 도자기 제조업	ㅇ 산업용 첨단 세라믹스(반도체용, 생체용, 원자로용 세라믹부품만 해당한다)
23995	탄소섬유 제조업	ㅇ 고강도 고탄성 탄소섬유, 고기능 탄소섬유 제품(T1000 이상만 해당한다)
24221	동 압연, 압출 및 연신제품 제조업	ㅇ 1300MPa급 고강도 고탄성 동합금 압연(壓延), 인발(引發)제품 - 차세대 이동통신단말기 단자 및 고내열성 접속기(connector) 소재
24290	기타 1차 비철금속 제조업	ㅇ 비철금속분말(분말가공 및 성형은 제외한다) - 3D프린팅용 금속분말 ㅇ 금속 가공 잔여물(metal scrap)을 이용한 고품질 잉곳(ingot)(희소금속을 포함한다)
25911	분말 야금제품 제조업	ㅇ 철계, 비철계 분말야금제품(충진율 95% 이상인 것만 해당한다)
25934	톱 및 호환성 공구 제조업	ㅇ 초경합금공구, 다이아몬드공구, 물리증착 또는 화학증착공구, 서멧공구, 입방질화붕소공구, 고속도강공구
26111	메모리용 전자집적회로 제조업	ㅇ 메모리 반도체(D램, 플래시 등 차세대 휘발성 및 비휘발성 메모리)
26112	비메모리용 및 기타 전자집적회로 제조업	ㅇ 시스템 반도체(인공지능반도체, 마이크로 컴포넌트, 아날로그 및 혼성 집적회로, SiC 파워반도체, 고전압 RF IC 등)
26121	발광 다이오드 제조업	ㅇ 발광다이오드(LED) 제조업으로서 다음의 것만 해당한다. - 마이크로 발광다이오드, 미니 발광다이오드, 양자점 발광다이오드
26129	기타 반도체소자 제조업	ㅇ 포토다이오드(PD), 반도체 레이저 다이오드(LD), IC패키지, 태양전지 ㅇ 스마트카드용 IC칩(통합보안관련) ㅇ 고해상도 고체촬상소자(CCD 등)
26212	유기발광 표시장치 제조업	ㅇ 유기발광다이오드(OLED)[플렉시블 유기발광다이오드, 능동형 유기발광다이오드(AMOLED) 등]
26219	기타 표시장치 제조업	ㅇ 투명 디스플레이 ㅇ 디지털 홀로그램 ㅇ 플렉시블 전자종이(e-Paper) ㅇ 디스플레이부품[포토마스크, 고해상도 섀도마스크(shadow mask), 편광판, 컬러필터(color filter), 위상보상필름, 투명 전극]
26222	경성 인쇄회로기판 제조업	ㅇ 고밀도 다층기판(HDI), SLP(Substrate Like PCB)만 해당한다.
26223	연성 및 기타 인쇄회로기판 제조업	ㅇ 연성 인쇄회로기판(flexible PCB), 경연성복합 인쇄회로기판
26295	전자감지장치 제조업	ㅇ 센서(초소형 센서만 해당한다) - 주행상황인지 센서, 항행용 레이더센서, 인공지능 센서(AI sensor), 레이더 센서, 항법센서 등
26410	유선 통신장비 제조업	ㅇ 광섬유 전송시스템 ㅇ 광통신 장비 및 부품(5G 이동통신용만 해당한다) - 광통신 부품(5G용), 광통신 중계기(5G용), 네트워크장비(5G용, IoT용), 네트워크스위칭(10G/1G) 등
26421	방송장비 제조업	ㅇ 방송장비 제조업으로서 다음 것만 해당한다. - 초고화질(8K UHD 이상) 방송장비[방송송신기, 방송통합 다중화기, 시그널링 시스템, 촬영장비, 8K 초고화질(UHD) 방송용 멀티포맷 변환기(converter)ㆍ코드변환기(transcoder) 등]
26429	기타 무선 통신장비 제조업	ㅇ 5G용 무선통신 부품 및 장비로서 다음의 것만 해당한다. - 5G 고집적 안테나, 5G용 모뎀, 5G 기지국ㆍ엑세스망장비, 5G소형셀 등
26519	비디오 및 기타 영상기기 제조업	ㅇ 가상현실(Virtual Reality)기기 및 증강현실(Augmented Reality)기기(4K 이상의 고해상도, 120도 이상 시야각, 고속 고감도 센서를 탑재한 것만 해당한다) ㅇ 오감(시각, 청각 등을 포함한 초실감형) 제공기기[착용형기기(wearable device)를 포함한다]
27111	방사선 장치 제조업	ㅇ 영상진단기기 및 단층촬영 장치(방사성동위원소, 자력선, 엑스선 또는 초음파를 이용한 것만 해당한다) ㅇ 수술 및 치료용기기(방사성동위원소, 자력선, 엑스선, 레이저, 초음파 또는 마이크로 웨이브를 이용한 것만 해당한다)
27112	전기식 진단 및 요법 기기 제조업	ㅇ 생체계측기기(심전계ㆍ뇌파계ㆍ근전계ㆍ안진계 또는 심음계만 해당한다) ㅇ 의료용기기(자동 생화학 분석기기 및 전자현미경만 해당한다) ㅇ 원격조정 환자 종합감시 장치 ㅇ 의료검사진단기기
27192	정형외과용 및 신체보정용 기기 제조업	ㅇ 정형외과용 및 신체보정용 기기 - 인공수정체, 인공관절, 인공심박기 등 인공신체 - 보청기
27199	그 외 기타 의료용 기기 제조업	ㅇ 의료용 레이저기기 ㅇ 의약품 자동주입기(주사기는 제외한다) ㅇ 휴대용 정신건강관리 시스템 ㅇ 현장형 생체지표(biomarker) 진단장비 ㅇ 지능형 개인 건강관리 기기
27211	레이더, 항행용 무선기기 및 측량기구 제조업	ㅇ 레이더 및 항행용 무선기기 - 지능형 전자 항행용 통신단말장치, 지능형 선박ㆍ항공기용 항행시스템, 자율차용 레이더/라이다, 초정밀 위성위치확인시스템(GPS), 항공기용 고성능 항법장치[인공지능(AI) 기반], 소출력 레이더 등
27212	전자기 측정, 시험 및 분석기구 제조업	ㅇ 전자파ㆍ광신호파를 응용하거나 마이크로프로세서를 내장한 것으로서 다음의 것만 해당한다. - 파형현시기 - 전자분석기기 - 유전체 및 자성체 측정기기 - 전송특성 측정기기 - 데이터회선 측정기기 - 전파 및 공중선 측정기기 - 음향특성 측정기기 - 광측정기기 - 측정보조기기(증폭기ㆍ검파기 및 신호발생기만 해당한다) - 전자식 물리 및 화학량측정ㆍ분석기기
27213	물질 검사, 측정 및 분석기구 제조업	ㅇ 성능시험기 또는 성능측정기 - 반도체ㆍ디스플레이소재검사 장비 - 에너지소재(태양전지 등) 특성 측정ㆍ검사 장비 - 환경측정ㆍ분석기기 - 바이오ㆍ의료소재 검사 장비
27215	기기용 자동측정 및 제어장치 제조업	ㅇ 산업용제어기기, 자동제어시스템(PLSㆍDCSㆍ철도차량 자동제어장치를 포함한다)
27216	산업처리공정 제어장비 제조업	ㅇ 제조설비의 자동공정 제어기기 또는 공정제어시스템 및 부분품으로서 다음의 것만 해당한다. - PLC, DCS 등을 이용한 공정제어시스템 - 로봇컨트롤러 및 컴퓨터통합시스템 관련 단위기기 - 화학물질 합성자동제어시스템, 화학반응 합성장치 - 지능형 제어기[센서내장 M2M/IoT기술 적용(자동감시ㆍ진단ㆍ제어)]
27219	기타 측정, 시험, 항해, 제어 및 정밀기기 제조업	ㅇ 산업, 군사, 의료 및 농업 등의 화상, 영상, 기상 및 위성 등 각종 계측데이터를 획득하여 이를 가공, 분석 및 해석 등을 하기 위한 계측기 및 계측시스템으로서 다음의 것만 해당한다. - 대역폭 60GHz 이상 스펙트럼분석기 - 대역폭 3GHz 이상 디지털오실로스코프 - 대역폭 60GHz 이상 주파수카운터 - 대역폭 60GHz 이상 신호발생기
27301	광학렌즈 및 광학요소 제조업	ㅇ 광부품(광섬유, 편광판)
27302	사진기, 영사기 및 관련 장비 제조업	ㅇ 영상광학기기(DSP내장 고정밀 촬영기)
27309	기타 광학기기 제조업	ㅇ 상관측기기로서 다음의 것만 해당한다. - 고분해능 현미경 ㅇ 광학기기용 렌즈 또는 프리즘 ㅇ 레이저 발진장치
28111	전동기 및 발전기 제조업	ㅇ 고효율ㆍ고정밀 모터(전동기)로서 다음의 것만 해당한다. - 서보모터 및 스테핑모터(분해능 10,000ppr 이상만 해당한다), 고정밀 리니어모터 - 고효율 유도 전동기(IE4급 이상만 해당한다) ㅇ 발전기(MCFC-압력차 발전기) ㅇ 2000 ∼ 7000Kv급 저전압/고전압용 발전기
28112	변압기 제조업	ㅇ 송배전기로서 다음의 것만 해당한다. - 초임계 발전용 변압기 - 80㎸/250㎸ 전압형 MMC 직류 송전시스템장비 - 250㎸ 전압형 멀티터미널 직류 송ㆍ배전시스템 - MVDC급 직류 배전시스템 - AC/DC 하이브리드 배전기
28114	에너지 저장장치 제조업	ㅇ 에너지저장장치(ESS) 시스템으로서 다음의 것만 해당한다. - 전력관리시스템(PMS)으로서 SW 및 서버 HW, 데이터 검색ㆍ저장ㆍ분석 및 통신연계 기능이 포함된 것 - 전력변환장치(PCS)로서 배터리(DC) 측은 1,500V, 2,000A, 45kA 이상의 출력이 유지되고, 계통(AC)측은 95% 이상 효율을 갖춘 것 - 배터리관리시스템(BMS)으로서 충방전 전류극 제어 및 비정상적 작동시의 안정장치 기능을 갖춘 것
28119	기타 전기 변환장치 제조업	ㅇ 전기 변환장치로서 다음의 것만 해당한다. - 리액터(대용량의 태양광ㆍ전기차용) - 스위칭 신호방식의 전력변환장치[태양광, 풍력, 에너지저장장치(ESS) 등 신재생에너지용 전동ㆍ발전기의 구동을 위한 컨버터 및 인버터] - 멀티터미널 고압직류 송ㆍ배전장치 - 멀티레벨 무효전력보상장치(STATCOM)
28121	전기회로 개폐, 보호장치 제조업	ㅇ 전기회로 개폐, 보호 장치중에서 다음의 것만 해당한다. - 초고압 차단기(GIS) - 친환경(고체절연 등) 개폐장치 - 하이브리드형 DC 차단 및 개폐기 - 고속 대용량 직류 차단기 - 태양광, 해상풍력 등 신재생에너지용 전력변환기ㆍ차단기ㆍ개폐기
28123	배전반 및 전기 자동제어반 제조업	ㅇ PLC(프로그램 내장 컨트롤러), HMI, 센서 등 중앙감시제어장치(SCADA)의 구성 장치
28202	축전지 제조업	ㅇ 전기차․에너지저장장치(ESS)․전자기기용 이차전지로서 다음의 것만 해당한다. - 리튬이온 이차전지, 리튬이온폴리머전지, 리튬폴리머 전지, 니켈수소 전지, 고성능ㆍ고용량 슈퍼 축전지(capacitor 전지), 연료전지, 모듈화 전지[전기차ㆍ에너지저장장치(ESS)용], 흐름전지, 고온형 나트륨계 전지, 리튬황전지, 레독스 플로 전지 및 이러한 제품의 핵심 부품
28422	일반용 전기 조명장치 제조업	ㅇ 태양전지 가로등[발광다이오드(LED)를 활용한 사물인터넷용만 해당한다]
28903	교통 신호장치 제조업	ㅇ 스마트시티용 지능형 교통통제용 전기장치만 해당한다. - 스마트시티용 지능형 교통시스템(ITS), 첨단교통관리 시스템(ATMS), 첨단차량도로시스템(AVHS)장치 등
28909	그 외 기타 전기장비 제조업	ㅇ 자동화용 초정밀 전기용접 설비 및 절단기로서 다음의 것만 해당한다. - 용접기 및 절단기(레이저, 플라즈마, 초음파, 고주파, 인버터방식만 해당한다) - 고속전철용 괘도용접 설비 - 이종금속용 경납땜(brazing) 용접기
29120	유압기기 제조업	ㅇ 유공압 액추에이터(로봇, 구동부품용 모터, 실린더만 해당한다) ㅇ 전기식 액추에이터(로봇구동 부품만 해당한다)
29131	액체 펌프 제조업	ㅇ 다이어프램방식 초정밀 정량 액체 펌프(피스톤, 페리스탤틱 방식은 제외한다)로서 다음의 것만 해당한다. - 내화학성 확보, 최소유량 0.02 mL/min, 정밀도 3%이내
29133	탭, 밸브 및 유사장치 제조업	ㅇ 고압기밀 전자식 레귤레이터 ㅇ 유압밸브 유량특성 및 정밀도에 따른 서보밸브(Servo Valve)
29141	구름베어링 제조업	ㅇ 볼ㆍ롤러 베어링(KS 4급 이상) 및 그 핵심부품[리테이너, 케이지(cage), 강구(steel ball), 롤러(roller)]
29172	공기 조화장치 제조업	ㅇ 초청정 클린룸(clean room)으로서 한국산업표준에 따른 청정도 1등급만 해당한다. ㅇ 시스템에어컨(고효율EHP) 및 핵심부품(압축기, 모터, 열교환기)으로서 한국산업표준에 따른 난방 COP 3.5 이상, 냉난방 EERa 6.6 이상인 것만 해당한다. ㅇ 고효율 지열 열펌프시스템 및 핵심부품(압축기, 모터, 열교환기)으로서 「신에너지 및 재생에너지 개발ㆍ이용ㆍ보급 촉진법」 제13조의 신재생에너지설비 인증심사 기준에 따른 냉방 EER 4.1 이상, 난방 COP 3.3 이상인 것만 해당한다.
29199	그 외 기타 일반목적용 기계 제조업	ㅇ 첨단용접 설비(표면 장착부품 납땜 및 절단기기만 해당한다) - 레이저․플라즈마․고주파․인버터방식용접기 - 하이브리드용접기 ㅇ 표면개질 측정 및 처리 시스템
29222	디지털 적층 성형기계 제조업	ㅇ 3D프린팅 장비로 다음의 것만 해당한다 - 금속소재, 세라믹, 바이오소재, 건축소재(콘크리트만 해당한다)용 3D프린팅 장비 - 초고속 3D프린팅 장비
29223	금속 절삭기계 제조업	ㅇ 초미세ㆍ초정밀 와이어 방전가공설비(wire electrical discharge machining)로서 선폭 50um 이하인 것만 해당한다.
29229	기타 가공 공작기계 제조업	ㅇ 난삭(難削) 티타늄 합금 및 인코넬 합금 소성 가공 기계 ㅇ 탄소섬유 복합재(CFRP) 중에서 우주항공 및 자동차용 첨단 소재의 성형 기계
29269	기타 섬유, 의복 및 가죽 가공 기계 제조업	ㅇ 초경량, 고탄성, 고강도 탄소섬유 제조 장비 ㅇ 탄소섬유 복합재의 가공장비 및 검사 장비
29271	반도체 제조용 기계 제조업	ㅇ 반도체장비 및 장비용 핵심부품(반도체 설계ㆍ조립ㆍ패키지, 포토마스크 제조용, 웨이퍼 제조 및 가공용만 해당한다)
29272	디스플레이 제조용 기계 제조업	ㅇ 디스플레이용[초고해상도(8K 이상) 디스플레이, 능동형 유기발광다이오드(AMOLED), 플렉시블 및 착용형 디스플레이만 해당한다] 장비 및 장비용 핵심부품 - 노광기(露光器) 설비, 레이저(Laser) 재결정화 및 리프트 오프(Lift off) 설비, 증착(蒸着) 설비, 식각(蝕刻) 설비, 세정 설비, 인라인(In-line) 공정 진단 설비 등
29280	산업용 로봇 제조업	ㅇ 제조업용 로봇으로서 다음의 것만 해당한다. - 이적재용, 공작물 착탈용, 용접용, 조립 및 분해용, 가공용 및 표면처리, 바이오 공정용, 시험ㆍ검사용, 기타 제조업용 로봇 - 협동로봇, 고청정 환경 대응 반도체 생산로봇, 차세대 태양전지ㆍ연료전지 제조로봇 등 첨단 제조업용 로봇 포함
29292	고무, 화학섬유 및 플라스틱 성형기 제조업	ㅇ 초미세품용 사출 성형기 - 나노 및 마이크로 표면용·제품용 등 ㅇ 자동차 경량화 및 항공기 소재에 활용이 가능한 복합재료 성형기 - 수지충전공정(Resin Transfer Molding) 성형기, 필라멘트 와인딩(filament winding) 성형기 등
29294	주형 및 금형 제조업	ㅇ 프레스용 금형 ㅇ 다이캐스팅 금형 ㅇ 플라스틱성형용 금형 ㅇ 금형용 부품
29299	그 외 기타 특수목적용 기계 제조업	ㅇ 개인서비스용 로봇으로서 다음의 것만 해당한다. - 가사서비스용(단순 청소로봇 제외한다), 건강관리용, 여가지원용, 연구용 - 소셜서비스로봇(단순 스피커형 제외한다) ㅇ 전문서비스용 로봇으로서 다음의 것만 해당한다. - 빌딩서비스용, 사회안전 및 극한작업용, 의료ㆍ재활로봇, 사회인프라용, 군사용, 농림어업용, 물류로봇 ㅇ 지능형 로봇부품으로서 다음의 것만 해당한다. - 로봇용 구동부품, 로봇용 감지(sensing)부품, 로봇용 제어부품
30110	자동차용 엔진 제조업	ㅇ 하이브리드용 엔진 ㅇ 경량화 소재 엔진
30121	승용차 및 기타 여객용 자동차 제조업	ㅇ 전기차 ㅇ 수소연료전지차 ㅇ 하이브리드차(플러그인 하이브리드만 해당한다)
30122	화물자동차 및 특수 목적용 자동차 제조업	ㅇ 전기차 ㅇ 수소연료전지차 ㅇ 하이브리드차(플러그인 하이브리드만 해당한다)
30310	자동차 엔진용 신품 부품 제조업	ㅇ 자동차 엔진용 부품으로서 다음의 것만 해당한다. - 통합 전자제어장치(ECU) - 배기가스저감 및 자기진단 장치 - 과급시스템 - 하이브리드차용 관련 전동부품
30331	자동차용 신품 동력전달장치 제조업	ㅇ 동력전달장치로서 다음의 것만 해당한다. - 고단 변속기(8단 이상) - 듀얼 클러치 트랜스미션(DCT) - 2단 감속기(전기동력 자동차용만 해당한다)
30332	자동차용 신품 전기장치 제조업	ㅇ 전기자동차용 급속충전장치 ㅇ 연료전지 및 연료변환 시스템 ㅇ 주행환경 인식 센서(RADAR, LIDAR, 카메라 기반 센서, 측위 센서, 초음파 센서, IR 센서 등) ㅇ 능동안전시스템[스탠드 얼론(Stand Alone) 및 V2X 통신에 기반한 방식의 것만 해당한다]
30391	자동차용 신품 조향 장치, 현가장치 제조업	ㅇ 조향장치 및 현가장치로서 다음의 것만 해당한다. - 자동긴급조향(AES) 시스템(주변상황 감지정확도 90% 이상의 것만 해당한다) - 스마트 엑추에이터 모듈 - 전동식현가장치, 에어서스펜션, - 전동식 스프링차제제어 - 감응형 댐퍼, 회생발전 댐퍼
30392	자동차용 신품 제동장치 제조업	ㅇ 제동장치로서 다음의 것만 해당한다. - 전기기계식 브레이크 시스템(EMB) - 차량안정성 제어장치(ESP) - 회생제동 브레이크 시스템(AHB)
30399	그 외 자동차용 신품 부품 제조업	ㅇ 공기부과시스템 ㅇ 통합 열관리 장치 ㅇ 수소저장장치 ㅇ 스택(stack) 및 관련부품 ㅇ 차량용 시각, 청각, 촉각식 인터페이스 장치
31311	유인 항공기, 항공 우주선 및 보조장치 제조업	ㅇ 유인 항공기, 우주선 및 보조장치(부품은 제외한다)
31312	무인 항공기 및 무인 비행장치 제조업	ㅇ 고기능 무인항공기 ㅇ 무인항공기 운용교통 관제시스템
31322	항공기용 부품 제조업	ㅇ 항공기용 부품(엔진을 포함한다)